丰联科光电知识问答
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靶材的选用原则是什么?

最佳答案:

靶材的选用原则
(1)靶材成膜后应具有良好的机械强度和化学稳定性;
(2)作为反应溅射成膜的膜材必须易与反应气体生成化合物膜;
(3)靶材与基体集合必须牢固,否则应采取与基体具有较好结合力的膜材,先溅射一层底膜再进行所需膜层的制备;
(4)在满足膜性能要求的前提下,靶材与基体的热膨胀系数的差值越小越好,借以减小溅射膜热应力的影响;
(5)根据膜的用途与性能要求,所用的靶材必须满足纯度、杂志含量、组分均匀性、 机械加工精度等技术要求。