丰联科光电知识问答
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喷涂制备金属靶材的原理是什么?

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喷涂制备金属靶材的原理是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态,借助高速=气体将其雾化,形成小的熔滴,并加速喷射到衬管或衬板表面,快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程。非金属和陶瓷靶通常是利用等离子加热粉末材料的方法喷涂制成。