丰联科光电知识问答
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磁控溅射镀膜速率低是怎么回事?

磁控溅射镀膜速率低是怎么回事?

最佳答案:

  (1)氩气进气量过大或过小,观察辉光颜色可以判定氩气是过大还是过小,据此调整氩气进气量;检修流量计;
  
  (2)靶材过热,检查冷却水流量;
  
  (3)检查永磁体是否消磁。