真空镀膜时为什么会出现产品掉膜的现象？
真空镀膜时为什么会出现产品掉膜的现象？
最佳答案：
1、表面清洁度
产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
2、清洗过程中的问题
镀前清洗不到位，或更换了清洗液。
3、工艺的问题
工艺参数是否有变动，在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题
钛靶是否中毒，检查和更换。
5、真空腔是否漏气
进行次捡漏。
6、产品表面氧化
氧化的原因很多，可以自行判断处理。
产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
2、清洗过程中的问题
镀前清洗不到位，或更换了清洗液。
3、工艺的问题
工艺参数是否有变动，在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题
钛靶是否中毒，检查和更换。
5、真空腔是否漏气
进行次捡漏。
6、产品表面氧化
氧化的原因很多，可以自行判断处理。