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钛靶材的应用行业领域有哪些?

[ 发布日期:2021-07-14 16:45:49 点击:1640 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]
  溅射钛靶材与金属钛都是由钛元素组成的,所以材料基本相同,但它俩的区别主要在于金属钛可以作为原材料生产钛靶材,而钛靶材只能是一种被制造出来的产品。金属钛可通过几种方法制成钛溅射靶材。钛靶材在很多行业领域都能广泛的应用,下面四丰电子的小编就总结了几个常见的钛靶材的应用行业来给大家具体介绍一下,一起来看看吧。
  

  一、非集成电路和集成电路行业

  非集成电路和集成电路对溅射钛靶材的要求是不同的。一般而言,集成电路对涂层材料有很高的要求,例如更高的纯度,更小的晶粒尺寸以及更精确的尺寸精度。但它揭示了不同行业对钛靶材的要求不同。集成电路钛靶的纯度要求主要是大于99.995%,高于非集成电路中所用的纯度。
  

  二、平板显示器行业

  钛靶
  平板显示器中使用的钛靶材包括液晶显示器,等离子显示器,电致发光显示器和场发射显示器。溅射镀膜技术通常用于沉积平板显示器的薄膜。Al,Cu,Ti和Mo是平板显示器的主要金属溅射靶材。用于平板显示器的钛靶材的纯度通常需要大于99.9%。
  

  三、晶圆制作及芯片封装领域

  
  钛靶材可用于晶圆导电阻挡层及封装金属布线层制作。其中在晶圆制造环节,靶材主要用于执着晶圆导电层、阻挡层以及金属栅极,而且在芯片封装环节,靶材用来生成凸点下金属层、布线层等金属材料。靶材在晶圆制造及封装过程成本占比均约在3%左右,虽然靶材在晶圆制造和芯片封装领域用量不大,但是由于溅射靶材的品质直接影响导电层、阻挡层的均匀程度及性能,进而影响芯片传输速度及稳定性,因此靶材是半导体生产的核心原材料之一。
  
  在晶圆制作环节,半导体用溅射靶材主要用于晶圆导电层及阻挡层和金属栅极的制作,主要用到铝、钛、铜、钽等金属,芯片封装用金属靶材于晶圆制作类似,主要有铜、铝、钛等。其中,晶圆制作导电层使用金属靶材主要有铝靶和铜靶,阻挡层使用金属靶材主要有钽靶和钛靶,阻挡层主要有两个作用,一方面是阻隔与绝缘,防止导电层金属扩散到晶圆主体材料硅中,另一方面作为黏附,用于粘结金属和硅材料。一般来说,110nm技术节点以上晶圆分别用铝、钛作为导线及阻挡层的薄膜材料,110nm以下晶圆分别使用铜,钽材料作为导线及阻挡层的薄膜材料,随着晶圆制程的缩小,未来对铜靶、钽靶以及制作金属栅极用钛靶的用量占比将不断提升。
  

  四、生物行业

  
  钛是无磁性金属,在很强的磁场中也不会被磁化,且与人体有良好的相容性,可以用来制造人体植入器件。一般医用钛材并没有达到高纯钛的级别,但是考虑到钛中不纯物的溶出问题,植入件用钛的纯度应尽可能的高。文献还提到,高纯钛丝可用做生物捆扎材料。此外,内埋导管的钛制注入式针头也达到了高纯钛级别。
  

  五、装饰材料行业

  
  高纯钛靶材具有优异的耐大气腐蚀性能,在大气中长期使用也不变色,保证钛原有的本色。因此高纯度钛还可以用做建筑装饰材料。此外近年来部分装饰品以及部分佩戴物,如手链、手表及眼镜架等用钛制作利用了钛耐腐蚀、不变色、能长久保持良好的光泽以及与人体皮肤接触不致敏等特性。某些装饰品用钛的纯度已经达到5N级别。
  

  六、吸气材料行业

  
  钛作为一种化学性质非常活泼的金属,在高温下可与许多元素和化合物发生反应。高纯钛靶材对活性气体(如O2、N2、CO、CO2、650°C以上的水蒸气)的吸附性很强,蒸发在泵壁上的Ti膜可形成一一个高吸附能力的表面,这一性质使得Ti在超高真空抽气系统中作为吸气剂而得到广泛的应用。如用在升华泵、溅射离子泵等,可使溅射离子泵的极限工作压强低至10-9Pa。
  
  钛靶材的应用行业领域有非集成电路和集成电路,平板显示器行业,晶圆制作及芯片封装领域,生物行业、装饰行业及吸气材料行业,每个行业对钛靶材的要求都不同,所以我们应用在不同行业的话,选购钛靶材时需要知道产品的规格,这样靶材的生产厂家也会根据规格来提供制作钛靶材。四丰电子材料专注生产各种溅射靶材,产品纯度高,还可进行有关使用方面的技术指导,如果您有需要,欢迎联系四丰详询~