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什么是靶材绑定?靶材绑定的作用及绑定流程

[ 发布日期:2021-01-13 10:16:49 点击:8560 来源:丰联科光电(洛阳)股份有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]
  什么是靶材绑定?在靶材镀膜时,有时候会把靶材绑定在一个背靶上,用焊料将靶材与背靶焊接起来,这叫“靶材绑定”。一般的靶材会将其绑定在铜背靶上,旋转靶材会绑定在不锈钢衬管上,下面四丰的小编就来具体介绍下靶材绑定的方式、作用及流程的内容。
  

  一、靶材绑定的方式

  宽幅钼靶材
  靶材绑定的方式主要有三种,压接、钎焊和导电胶。
  
  1、压接:采用压条, 一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮。
  
  2、钎焊:一般使用软钎料的情况下,钎料常用In、Sn、In-Sn,要求溅射功率小于20W/cm2。
  
  3、导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0 05微米。
  

  二、靶材绑定的作用

  
  1、防止靶材受热不匀碎裂。例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材受热容易碎裂;
  
  2、节省成本,防止变形。如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以防止变形。
  

  三、靶材绑定的流程

  
  1、绑定前将靶材和背靶表面预处理;
  
  2、将背靶固定放置在加热台上,将靶材放于背板上,升温到绑定温度;
  
  3、将靶材和背靶金属化,通过钎焊将靶材贴合在铜背板上;
  
  4、粘接靶材和背靶,靶材的远离铜背板的表面上放置配重块,待靶材冷却后取下配重块步骤;
  
  5、降温和后处理。
  

  四、靶材绑定的范围

  
  技术上来说表面平整可进行金属化处理的靶材都可以用钎焊绑定技术绑定铜背靶,来提高溅射过程的散热性、提高靶材利用率。建议绑定的靶材: ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材; 锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。但下列情况绑定有弊端: 
  
  1、熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;
  
  2、贵金属靶材,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。
  

  五、绑定靶材的使用注意事项

  
  1、溅射温度不宜太高;
  
  2、电流要缓慢加大;
  
  3、循环冷却水应低于35摄氏度;
  
  4、适宜的靶材致密度。
  

  六、背靶的选择

  
  1、对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶。
  
  2、导电性好,常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;
  
  3、厚度适中,般建议背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。
  
  4、结构要求空心或者实心结构。
  
  5、强度足够,太薄,易变形,不易真空密封。
  

  七、背靶脱落的原因

  
  1、溅射温度高,背靶易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;
  
  2、电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,造成背靶脱落;
  
  3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;
  
  4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。
  
  以上是关于什么是靶材绑定的回答,简单说,靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。方式主要有压接、钎焊和导电胶三种方式。靶材绑定的作用是防止靶材受热不匀碎裂,防止变形。另外还补充了绑定的流程、范围等内容,希望能让大家更好的了解靶材绑定。四丰电子材料公司专注于溅射靶材研发、生产十余年,靶材组织结构均匀细小、性能稳定一致、溅射成膜性能优异,有需要的朋友,欢迎留言或致电四丰详询~