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溅射靶材的用途

[ 发布日期:2019-05-27 16:44:32 点击:2386 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]

随着市场高科技产品的不断研发,靶材也在市面上频频出现,溅射靶材就是其中的种,它具备优良的性能,非常受市场的欢迎,然而还有很多人对溅射靶材并不了解,也不知道溅射靶材是干什么用的,那么今天小编就带大家来了解下溅射靶材的用途

、溅射靶材的定义

溅射属于物理气相沉积技术的种,它利用离子源产生的离子,在高真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体即为溅射靶材。

以上就是溅射靶材的定义介绍,溅射靶材是半导体晶圆制造环节核心的高难度材料,溅射靶材占半导体晶圆制造材料市场中3%左右,球市场规模在6-7亿美元,年均增速5-10%。下面我们就来看看它的用途都有哪些吧!

二、溅射靶材的用途

磁控溅射镀膜是种新型的物理气相镀膜方式,就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上,使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。

溅射靶材作为常用的镀膜材料主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜域,还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。利用溅射靶材制备的各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用,具体应用产业如下:

溅射靶材

1、信息存储产业
随着IT产业的不断发展,世界对记录介质的需求量越来越大。记录介质用靶材研究与生产成为大热点。在信息存储产业中,使用溅射靶材制备的相关薄膜产品有硬盘、磁头光盘等。制造这些数据存储产品,需要使用具有殊结晶性与殊成分的高品质靶材常用的有钴、铬、碳、镍、铁、贵金属、稀有金属介质材料等。

2、集成电路产业

集成电路用靶材在球靶材市场占较大份额.其溅射产品主要包括电互连线膜阻挡层薄膜、接触薄膜光盘掩膜、电容器电膜、电阻薄膜等。其中薄膜电阻器是薄膜混合集成电路中用量多的元件.而电阻薄膜用靶材中Ni- Cr 合金的用量很大。

3、平面显示器产业

平面显示器产业包括:液晶显示(LCD)、等离子体显示器(PDP)、场致发光显示器(E-L)、场发射显示器(FED)。目前在平面显示器市场中以液晶显示(LCD)为主,广泛应用于笔记本电脑显示器、台式电脑监视器到高清晰电视。目前,平面显示器的薄膜多采用溅射成形。溅射用靶材主要有In2O3SnO2MgOwMoNiCuCr等。

溅射靶材的产业链为:金属提纯—靶材制造—溅射镀膜—终应用,其中超高纯度靶材是溅射靶材的基础,靶材制造和溅射镀膜是关键的两个环节。了解了溅射靶材的用途之后我们在来看看它的分类都有哪些?

       三、溅射靶材分类

溅射靶材有很多分类,根据用途不同可分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等,根据应用域又分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电靶材、封装靶材、其他靶材等。 

关于溅射靶材的用途,小编今天就为大家介绍到这里,溅射靶材的用途还是非常广泛的,相信大家看了本篇文章之后,就会对它的用途有定的认识和了解。