您好,欢迎访问洛阳高新四丰电子材料有限公司网站,如有疑问欢迎致电我们进行咨询!
  • 洛阳高新四丰电子材料有限公司
  • 公司地址:洛阳市高新区河洛路269号
  • 销售一科靶材科  0379-60671099
  •          0379-60671092
  • 销售二科非靶材科 0379-60671908
  • 市场开发部    0379-60671067
  • 邮  箱:  sale001@lysifon.com
  •        sale002@lysifon.com
  • 微信公众号:lysifon
新闻中心当前位置:网站首页 - 新闻中心

动磁场真空镀膜磁控滅射源

[ 发布日期:2018-03-21 14:36:36 点击:1042 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]

一种动磁场真空镀膜磁控滅射源,包括靶基板、焊接或用压环固定在靶基板正面的片状靶材、屏蔽环、磁钢基板、安装在磁钢基板上的内磁钢和外磁钢,所作的改进是:磁钢基板的直径大于靶材的半径、小于靶材的直径,磁钢基板轴线偏离靶基板轴线,磁钢基板固定在一个正齿轮的侧面上,在镀膜机机架上安装与正齿轮啮合的齿圈,在机架上安装位于正齿轮后侧的电机,电机动力输出轴上固定拐柄,齿轮轴安装在拐柄上。电机动力输出轴及齿圈与靶基板同轴线设置。本发明的积极效果是:得到一个公转兼自转的环形磁场,用以扫描到靶材的每一个位置,使靶材在更大的面积上被均匀地滅射刻蚀。靶材的利用率高,镀膜均匀。

 镀膜靶材

1.一种动磁场真空镀膜磁控溅射源,包括正面在真空沉积腔中的靶基板、焊接或用压环固定在靶基板正面的片状靶材、罩住靶基板圆周侧面及靶基板正面靶材以外部分的屏蔽环、设置在靶基板背面的磁钢基板、安装在磁钢基板上的朝向靶基板一侧的圆心位置的内磁钢和圆周位置的环形外磁钢或排列成环的组合外磁钢,其特征是:磁钢基板的直径大于靶材的半径、小于靶材的直径,磁钢基板轴线偏离靶基板轴线,磁钢基板固定在一个正齿轮的侧面上,在镀膜机机架上安装与正齿轮啮合的齿圈,在机架上安装位于正齿轮后侧的电机,电机动力输出轴上固定拐柄,齿轮轴安装在拐柄上。

 

2.根据权利要求1所述的一种动磁场真空镀膜磁控溅射源,其特征是:电机动力输出轴及齿圈与靶基板同轴线设置。

 靶材

3.根据权利要求1所述的一种动磁场真空镀膜磁控溅射源,其特征是:齿圈的分度圆直径减去内磁钢的分度圆直径之差要大于或等于内磁钢的直径。

 靶材

4.根据权利要求1所述的一种动磁场真空镀膜磁控溅射源,其特征是:磁钢基板轴线偏离靶基板轴线的距离加磁钢基板半径之和等于或接近于靶材的半径的长度。

tag标签:真空镀膜